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纳芯微NSP163x系列MEMS绝压传感器芯片主要利用硅的压阻效应,并结合自主研发的MEMS 微加工工艺设计而成。该系传感器晶圆的制造工艺平台经过IATF16949认证,且每片晶圆都经过正/背面 AOI 检测,符合AEC-Q103标准。该系列MEMS晶圆能够实现测量介质的绝压检测,可广泛用于汽车电子、医疗电子、白色家电和工业控制等领域。同时纳芯微还推出了独特的贵金属MEMS系列产品,专门应用于汽车尾气处理等恶劣介质环境。
产品特性
• 工作温度范围-40℃~150℃
• 压力量程:0kPa~100kPa/200kPa
• 生命周期内精度和稳定性小于1%F.S.
• 车规级IATF16949 认证的工艺平台
• 符合RoHS & REACH 以及无卤要求
• 满足AEC-Q103 Grade 0标准
• 单颗芯片尺寸:1.0mmx1.0mmx0.4mm
应用场景
• 汽车:摩托车三合一传感器;汽车TMAP 进气压力检测;BPS电池包热失控压力检测;EGR-TMAP 废气再循环压力检测;碳罐脱附压力检测;VBS真空助力传感器;汽车油改气进气压力检测
• 工业:压力变送器;工业真空度检测等
功能框图
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