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MEMS压力传感器

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0kPa~100kPa/200kPa 绝压传感器MEMS晶圆

纳芯微NSP163x系列MEMS绝压传感器芯片主要利用硅的压阻效应，并结合自主研发的MEMS 微加工工艺设计而成。该系传感器晶圆的制造工艺平台经过IATF16949认证，且每片晶圆都经过正/背面 AOI 检测，符合AEC-Q103标准。该系列MEMS晶圆能够实现测量介质的绝压检测，可广泛用于汽车电子、医疗电子、白色家电和工业控制等领域。同时纳芯微还推出了独特的贵金属MEMS系列产品，专门应用于汽车尾气处理等恶劣介质环境。


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应用场景
功能框图

产品特性

•  工作温度范围-40℃~150℃

•  压力量程：0kPa~100kPa/200kPa

•  生命周期内精度和稳定性小于1%F.S.

•  车规级IATF16949 认证的工艺平台

•  符合RoHS & REACH 以及无卤要求

•  满足AEC-Q103 Grade 0标准

•  单颗芯片尺寸：1.0mmx1.0mmx0.4mm


应用场景

•  汽车：摩托车三合一传感器；汽车TMAP 进气压力检测；BPS电池包热失控压力检测；EGR-TMAP 废气再循环压力检测；碳罐脱附压力检测；VBS真空助力传感器；汽车油改气进气压力检测

•  工业：压力变送器；工业真空度检测等


功能框图

NSP163x框图.png

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