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2016/03/13
作者： 常宇飞 苏州纳芯微电子有限公司 现场应用经理
摘要：压力传感器是现实生活中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业控制，汽车电子，医疗设备，本文主要针对应变电阻惠斯通电桥式传感器的生产标定做出简要说明，以供压力传感器工程人员参考。限于编者水平有限，望读者对文中不妥和错误之处给予批评指正。
关键词：NSA2300信号调理芯片；惠斯通电桥；压力传感器校准
传感器特性
图1为直流电桥，当前输出电阻无限大时，则前桥的输出可简化如下：
图2（左）为xxx型压力传感器输出特性曲线。分别为在-40°，0°，25°以及85°温度环境中测试电桥在不同压力下输出。实际应用中我们往往期望传感器输出与温度无关且线性，如图2（右）。受限于MEMS设计制作工艺、材料物理特性等，MEMS传感器本身很难达到理想要求，实际应用中往往需在MEMS后端加入信号调理芯片对其进行校准。
表1
模式 | 输出 | 说明 |
1T2P | off,s0 | 一个温度点两个压力点。tc1=tc2=ts1=ts2=ks=kss=0 |
1T3P | off,s0,ks | 一个温度点三个压力点。tc1=tc2=ts1=ts2=ks=0 |
1T4P | Off,s0,ks,kss | 一个温度点四个压力点。tc1=tc2=ts1=ts2=0 |
2T2P | Off,s0,tc1,ts1 | 两个温度点两个压力点。tc2=ts2=ks=kss=0 |
2T3P | Off,s0,tc1,ts1,ks | 两个温度点三个压力点。tc2=ts2=ks=0 |
2T4P | Off,s0,tc1,ts1,ks,kss | 两个温度点四个压力点。tc2=ts2=0 |
3T2P | Off,s0,tc1,tc2,ts1,ts2 | 三个温度点两个压力点。ks=kss=0 |
3T3P | Off,s0,tc1,tc2,ts1,ts2,ks | 三个温度点三个压力点。kss=0 |
3T4P | Off,s0,tc1,tc2,ts1,ts2,ks,kss | 三个温度点四个压力点。 |
